MFM31, производства Rigaku, - это сложная рентгеновская измерительная система с высокой пропускной способностью, разработанная для анализа толщины, плотности, шероховатости и состава пленок, нанесенных на исследуемую пластину. Может производиться анализ, как тонких однослойных пленок, так и сложных многослойных структур. MFM31 выполняет высокоточные измерения, которые не возможно повторить используя оптические или ультразвуковые методы исследований.