Raider M - это автоматизированная высокопроизводительная однопластинчатая система для электрохимического осаждения. Она оснащена точной, полностью автоматизированной системой обработки пластин, имеет отдельные рабочие камеры и совместима с автоматизированной системой химической обработки. Процессы и наборы параметров, разработанные на платформе Raider M, можно напрямую перенести на другую высокопроизводительную систему Raider GT ECD, что делает переход от научно-исследовательских работ к полному бесшовному и быстрому производству.

• Усовершенствованные камеры для осаждения металлов
• Одна или две рабочие камеры
• Размеры пластин 150, 200 или 300 мм
• Встроенный SEMI S2 / S8
• Мини-ионизация
• Станция загрузки открытых кассет, SMIF и FOUP
• Малая занимаемая площадь (<2 м²)
• Гибкая конструкция
• Расширенная обработка

Применение

• Электролитическое осаждение металлов (Cu, Au, Ni, низкотемпературных припоев и т. д.)
• Бессвинцовое покрытие
• 3-D установка чипов при НИР