Однокристальные датчики Cool Drawer™ допускают установку кристалла в датчик сбоку, что удобно в системах, где недостаточно свободного пространства для установки кристалла спереди. В однокристальных датчиках Cool Drawer используется держатель кристалла Cool Drawer в корпусе с водяным охлаждением, который служит теплоизолирующим экраном для обеспечения высоких рабочих характеристик кристалла и его надёжного функционирования.
Изготавливаются датчики двух конфигураций: Стандартная и прямоугольная модели. Стандартная модель предназначена для установки сбоку или снизу камеры, в которой охлаждающие трубки расположены параллельно грани кристалла. Прямоугольная модель предназначена для установки сверху вакуумной камеры, в которой трубки с охлаждающей водой расположены перпендикулярно грани кристалла. Обе модели датчика изготавливаются как с затвором кристалла, так и без затвора.
Подвергающийся воздействию электрод кристалла полностью заземлён для эффективного предотвращения возможных проблем из-за электромагнитных помех. В корпусе имеются два резьбовых (4-40) отверстия для удобного монтажа.
Компания INFICON предлагает вакуумные вводы двух типов с разными способами присоединения на выбор: вакуумный ввод с 1-дюймовым резьбовым соединением или 2 ¾-дюймовым фланцем ConFlat®.
Однокристальные датчики Cool Drawer можно заказать в комбинации с вакуумным вводом. Соединение вакуумного ввода с датчиком может быть сварным или выполнено с помощью обжимного фитинга.
Обжимные фитинги облегчают регулировку, не требуя пайки и сварки. Вакуумный ввод можно смещать вдоль трубок, что позволяет регулировать длину внутри вакуумной системы в диапазоне 10-66 см. После определения нужной длины, обжимные фитинги позволяют выполнить герметичное присоединение усилием от руки.
Датчик с приваренным фланцем CF40 выбирают для высокотемпературных процессов, в которых критерий надёжности является самым важным. Изготовленный с использованием таких материалов, как нержавеющая сталь и керамика, этот датчик пригоден для приложений, требующих прогрева при высокой температуре (см. технические характеристики).
Варианты вакуумного ввода:
Фланец CF40
1-дюймовое резьбовое соединение
Однокристальный датчик Cool Drawer (с проводящей трубкой)
Для заказа Вам нужно составить код, вставив в формулу вместо букв a , b, c, d, e нужные цифры.
C
|
D
|
S
|
-
|
a
|
b
|
c
|
d
|
e
|
a
|
Тип датчика (кристаллы приобретают отдельно)
|
b
|
Затворный узел; Нет 0; стандартный затвор 1
|
c
|
Длина датчика – см. примечание 1; Длина: 102-660 мм - F
|
d
|
Вакуумный ввод – см. примечание 2; 1-дюймовое резьбовое соединение – 3; CF40 - 4
|
e
|
Присоединение вакуумного ввода
|
Примечание 1:
Для заказа датчиков со сварным соединением с вакуумным вводом особой длины обращайтесь к специалистам ЭмЭсЭйч Техно.
Примечание 2:
Конфигурация вакуумного ввода меняется в зависимости от выбранных вариантов (тип вакуумного ввода, соединение). Пример. В CDS-A1F47 и-B1F47 используется двухкомпонентная гибридная конструкция вакуумного ввода из-за пространственных ограничений, обусловленных стандартным фланцем CF40.
Примечание 3:
Длина датчика измеряется от центра кристалла до уплотняющей поверхности вакуумного ввода со стороны вакуума (см. чертёж)
Примечание 6:
При заказе датчиков без сварного присоединения (вариант «8» заказа), трубки изготавливаются длиной 30 дюймов для стандартного датчика и 26 дюймов для прямоугольного датчика.
Поверхность
|
Нержавеющая сталь, позолоченный Cool Drawer
|
Охлаждающая вода
|
0,2 галлона в минуту, подаётся по трубке наружным диаметром 1/8 дюйма (не допускать замерзания)
|
Электрическое подключение
|
1 стандартная розетка типа BNC с наружной стороны
|
Кристалл
|
Промышленного стандарта, диаметр 0,55 дюйма
|
Подача воздуха
|
Датчикам с затвором требуется регулируемая подача в диапазоне 55-60 psi
|
Материалы
|
Hержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий, VITON®
|
Температура
|
температура рабочей среды до 300 °C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Диаметр отверстия 1,015" ± 0,010"
|
Материалы
|
Нержавеющая сталь 304, Teflon®, керамика, никель-бериллий
|
Температура
|
температура рабочей среды до 450°C с водяным охлаждением или до 165 °C без охлаждения
|
Установка
|
Под фланцы 2 ¾ типа ConFlat с мин. внутренним диаметром 1,375 дюйма
|
Номер для заказа
|
Описание
|
123417
|
Держатель затвора
|
123418
|
Крышка сильфона
|
123419
|
Затвор
|
147207
|
Крышка и сильфон в сборе
|
147402
|
Шарнир
|
147403
|
Привод
|
147406
|
Опора сильфона
|
147407
|
Крышка сильфона
|
147408
|
Шток с резьбой
|
147411
|
Промежуточное кольцо
|
147424
|
Сильфонная труба
|
084-205
|
#4-40 x 3/16 винт со шлицем «Филлипс»
|
800128
|
#4 пружинная шайба
|
800371
|
Винт с буртиком
|
800372
|
Шайба
|
800416
|
Установочный винт 6-32 x 3/16 дюйма
|
803313
|
Пружина
|
123223-1
|
Паяный проводник в сборе – длинный вывод
|
123223-2
|
Паяный проводник в сборе – короткий вывод
|
147206-2
|
Сильфон с трубой 35 дюймов
|
803102
|
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями
|
803261
|
Уплотнительное кольцо для регулируемого вакуумного ввода с 5 отверстиями
|
CDS-A0F38 и CDS-B0F38
Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
CDS-A0F47 и CDS-B0F47
Комбинации однокристального датчика Cool Drawer с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-A0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B0F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B1F47, используемого в комбинациях с вакуумным вводом
Спецификация длины датчика CDS-B0F37, используемого в комбинациях с вакуумным вводом