Установка напыления тонких пленок HHV TF600 дает возможность использовать полный диапазон методов нанесения для НИОКР и производства и разработана для повышенных требований к технологическому процессу. Заказчики могут выбрать между рентабельной системой управления ПЛК или полной системой управления на базе ПК с обширной возможностью управления технологическим процессом. Камера шириной 600мм откачивается на выбор турбомолекулярными насосами или крионасосами, которые обладают достаточной скоростью откачки, обеспечивающей надлежащие условия работы ионных источников для ионного-лучевого напыления или травления.
Конструкция установки напыления тонких пленок TF600 позволяет использовать различные модификации камер шириной 600мм, располагать подложку и верхнюю плиту согласно требованиям заказчика, а также выбирать устройства напыления и откачных систем высокой производительности, что делает ее исключительно гибкой платформой для исследований и производства.
Компания HHV предлагает в качестве эффективного средства напыления в операторском режиме установку напыления тонких пленок TF600. Установка TF600 с управлением на базе ПЛК - эффективное, но доступное по цене средство для НИОКР. ПЛК промышленного исполнения с сенсорной панелью позволяет управлять вакуумной установкой, пока оператор занят устройствами напыления.
Дополнительные возможности управления технологическим процессом позволяют выполнять циклы многослойного напыления нажатием одной кнопки.
Установка напыления тонких пленок TF600 комплектуется полной системой управления на базе ПК. ПК обеспечивает работу системы диспетчерского контроля и сбора данных (SCADA) на базе ОС Windows с использованием программного обеспечения, удовлетворяющего промышленным стандартам. Весь набор команд по управлению технологическим процессом предоставляется посредством индивидуальных настроек дополнительного устройства, которые появляются на 'всплывающем' окне полноразмерного цветного экрана.
Система управления обеспечивает автоматический контроль последовательности выполнения операций и регистрации данных при нанесении покрытий, а также управление и контроль вакуумной установкой.