Описание:

Модуль макро-инспекции пластин с ручной загрузкой. Доступна версия для контроля фотошаблонов.

 

Основные возможности:

• Интерфейс BOLTS/IMM в соответствии со спецификацией SEMI E131 совместим со сторонними инструментами.
• Включает в себя станцию для макро-осмотра от HSEB, раму с двумя независимыми источниками света для светлого и темного поля.